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14.6億與7.6億(yì) 據cnBeta、環球網、快科技等多家媒體證實,2018年長江存儲從荷蘭阿斯麥(ASML)公司訂購的一台光刻機已抵達武漢。這台光刻機(jī)價值高達7200萬美元,約(yuē)合人民幣4.6億元。 另據日經亞洲評論(Nikkei Asian Review)報道,2018年中芯國際也向阿斯麥下單了(le)一台(tái)價值高達1.2億美元,即7.6億人民幣的EUV(極紫外線)光刻機。值得一提的是,訂(dìng)單價格與中芯國際17年年(nián)淨利潤1.264億美(měi)元大致相當。這台(tái)機器預計將(jiāng)於2019年初交貨。據悉,這是中芯國際向荷蘭AMSL發出的第一張訂單。
荷蘭當地媒體《埃因霍溫經濟(jì)報》報道了中(zhōng)芯國際的這次購買 雖然是買別人的(de)東西,但是這(zhè)兩條信息還是足夠令國人興奮(fèn),畢竟(jìng)這種機器咱們造不出來,人家不賣給咱們,自己的芯片製造就搞不定。 2什麽是光刻機? 對於普通人來說,光刻機或許是一個陌(mò)生的名詞,但它卻是製造大規模集成(chéng)電路的核心裝備,每顆芯片誕生之初,都(dōu)要經過光刻技術的鍛造。
圖源:知乎@中國科學院光電技術研究所 簡單(dān)地說,光刻機就是把工程師的設計(jì)‘印入’基底材料,其核心技術長期被荷蘭、日本、德國等把持。
光刻(kè)機原理 圖源:知(zhī)乎@看風景(jǐng)的蝸牛君 光刻機是(shì)芯片製造的核心設備之一,按照用途可(kě)以分為好幾種:有用於(yú)生產芯片的光刻機;有用於封裝(zhuāng)的光刻機;還有用於LED製(zhì)造領域的投影光刻機。用於生產芯片的光刻機是中國在半導體設備製造(zào)上最大的短板,國內晶圓廠所需的高端(duān)光刻機完全依賴進口。 3ASML:現代芯片不可或缺的支(zhī)持者 目前,光刻機領域的龍頭老大(dà)是荷蘭ASML。阿斯(sī)麥公司ASML Holding NV創立於1984年,是從飛利浦獨立出來的一個(gè)半導體設備製造商。前稱ASM Lithography Holding N.V.,於2001年改為現用名(míng),總部位於荷蘭費爾德霍芬,全職雇員12,168人,是一家半導體設備設計、製造及銷售(shòu)公司。 阿斯麥公司已經占據了高達80%的市場份(fèn)額,壟(lǒng)斷了高端光刻(kè)機市場——最先進的EUV光刻機售價曾高(gāo)達1億美元一台,且全球僅僅(jǐn)ASML能夠生產(chǎn)。Intel、台(tái)積電、三星都(dōu)是它的股東(dōng),重金供養ASML,並且有技術人員駐廠,Intel、三星(xīng)的14nm光刻機(jī)都(dōu)是(shì)買自ASML,格羅方德、聯電等(děng)晶圓廠的(de)光刻機主要也是來自(zì)ASML。
上麵這個(gè)就(jiù)是ASML光刻機的截麵圖,這台機器價值不菲。事實(shí)上中國的芯片製造商們要想(xiǎng)量產7nm及其以下的工藝的芯(xīn)片,就必須引入EUV光刻機。
阿斯麥公司(sī)為半導(dǎo)體生產商提供光刻機及相關服務,TWINSCAN係列是目前世界上精度最高,生產效率最高,應用最為廣泛的高端光刻機型。 目前全球絕大多數(shù)半導體生產廠商(shāng),都向ASML采購TWINSCAN機型,例如英特爾,三星(xīng),海力士,台積電,聯電,格(gé)芯及其它半導體廠。隨著摩爾定律的發展,芯片(piàn)走向了7nm以下,這就需要更高級的EUV光刻係統,全球隻有ASML的NXE:3400B能夠滿足需求。 未來,隻有他的EUV光刻機能夠幫助芯片接續微縮,因此這(zhè)些設備縱使賣到上億歐元,都能被客戶所接受(shòu)。 接下來我們走進ASML光刻(kè)機工廠,看看世界上最貴(guì)精密儀器出廠地。
4結語 一方麵,AMSL對我們的企業商業態度轉變,由禁售到同意出售最先進的7nm光(guāng)刻機,可(kě)以(yǐ)預計芯片水平將繼續提升。 另一方麵,我國(guó)在光刻機領域的(de)進步(bù)也是顯著的: 2018年5月,上海微(wēi)電(diàn)子宣(xuān)布成功研發90納米的高精度光刻(kè)機,半導體業內人士分析稱,攻克90納米的技術之後(hòu),拿下65和45納米就是(shì)順理成(chéng)章的事了。 2018年11月31日,官方發布消息,中國(guó)科學(xué)院(yuàn)光電技術研究所研製的22納米超分辨光(guāng)刻裝備通過驗收,未來將可以結合(hé)雙(shuāng)重曝光技術,用於製造10納米級別的(de)芯片。 僅從(cóng)精度的數據上看,我們(men)還是落後於荷蘭ASML不少。不(bú)過,看著(zhe)過往的發展速度,可以相信,未來(lái)不(bú)管是光刻機還是芯片技術都會趕上來,一步一步來。 |